存在氦气供应不足及价格上升的风险

设备成本回收快，30Nm3/day的使用量下，2年后可回收设备投资

规格：排气流量：小流量~大流量(＞500NL/min)

供给氦气浓度：5%~95%

               混合纯度：±0.5%（氦气浓度＜20%的情况）

               供给压力：低压~高压(＞5MPa)

               回收率：95%